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姜昭节往曲旭清身边走了两步,一位大牛正举着实验数据,向他确认一个光刻机物镜的数据差。 刘佳宁瞧见姜昭节听得认真,也走了过去。 这是在说物镜数据的误差?哦,是最后那几次试验的结果啊。她压低了声音,这个误差和咱们公司用的镜片质量有些关系。镜片加工和镀膜水平都不是顶尖,导致图形出现一部分扭曲。 光刻机的作用是将设计好的芯片线路图,通过一系列手段完全等比例缩小,从而完美地刻在硅片上。 兔国的线路图设计水平位于世界前列,但一直无法制造高端光刻机,基本依赖进口。 这其中,原因有很多,也包括光刻机的物镜系统不能自主生产。 姜昭节拧起眉头,神色有些凝重,刘佳宁愣了一下,误会他没明白自己的意思,于是进一步解释。 物镜系统的作用,姜总你知道的吧?补偿光学误差,并等比例缩小线路图。这个需要非常高的精度来避免图像变形,所以和平时见到的什么显微镜、望远镜的镜片是有区别的。 包括材质、镀层什么的,要求都更加严苛。 姜昭节点点头,也压低了声音:但星维现在使用的物镜,已经是国内能买到的最好的了。是直接从实验室出来的。 刘佳宁一惊,再次对姜昭节广阔的人脉叹为观止,边上那位大牛听到,也惊奇侧目。 小友辛苦了。大佬和蔼地道,你有这个心,还尽了这个力,实在是难得。 姜昭节忙谦虚了几句。 大佬摇摇头,很是真心地夸赞了姜昭节一会,转头看向刘佳宁:小刘啊,你过来看。看出来什么了吗? 刘佳宁走上前去,看着大佬指出的几处数据,疑惑道:这几组数据好像都有点偏高了。 大佬赞许道:你们这个研究成果,可了不得,最终能源转换效率提升了不少。 光刻机能耗非常恐怖,因为经过多次反射,能源转换效率不足0.02%,为了完成最后的工序,自然要加大能量提供。 刘佳宁他们研发的新技术,能够有效缩短光的反射路程,减少过程中的能量损耗,折合过去,就是每天大量减少电力消耗,同时还降低了光刻机本身的制造难度,理所当然得到大佬的高度赞扬。 大佬笑道:毕竟是个新技术,目前不够稳定,对物镜系统要求也比较高,确实有些隐患。 他又翻出几个数据,招呼刘佳宁和曲旭清看。 两人把着重提出来的数据汇总分析,很快意识到,由于对物镜系统要求过高,这项技术很可能会影响整个光刻机的温控设备。 刘佳宁恍然大悟,还对姜昭节解释道:这应该就是我本能觉得不对的地方了。咱们公司的实验室,没有单独测量物镜温度的设备,我倒是疏忽了这一块的问题。 目前对于调控缩放线路图的光路,比较先进的方法是控制透镜和反射镜的温度。 新技术可以缩短芯片制程,虽然减少一定能耗,但每单位路程上,光束更加集中,导致单位体积内热量增高,必然影响温控设备的使用和调节。 曲旭清琢磨着道:看来得增加一个补偿校正温度的设备。 刘佳宁:温度控制器?以目前国内的物镜生产水平,恐怕得加大功率的才有效。 姜昭节随口道:什么样算大功率?如果功率过大,会不会这项技术能够减少的能耗? 刘佳宁和曲旭清同时皱起眉头:这个要测定一下,还不好说。 但如果温控设备的消耗超过了新技术节约的能耗,那这项技术 有不如没有。 两人忍不住发愁,辛辛苦苦好几年,好不容易拿出了优秀的成果,如果这个问题无法解决,那技术就只能是技术,永远无法应用到实际中。 更无法产生效益。 星维前前后后砸了好几个亿在半导体项目上,如今刚看到一点成功的希望,要是真遭遇这么严重的问题,别说回本了,投资不算完全打了水漂,那都是理想状态了! 这么恐怖的亏损,只怕要让姜昭节寒心的! 曲旭清很想回报姜昭节,没想到技术存在这么大的隐患,当场就懵了。 刘佳宁也很头疼,开始考虑研发能耗小一点的温度控制设备。 但她不是这方向的专业人才,一时间竟找不到头绪,只能束手无策地站在原地,连安慰的话都说不出来。 另一位大佬听了全程,倒是咦了一声:这个需求我记得老赵你那个徒弟,前段时间好像找到了一个新镀层材料还是新物镜材料来着? 被称作老赵的大佬从另一边走过来,疑惑道:什么?你说孟小子那个鸡肋的物镜材料吗? 他是材料方面的顶级专家,手底下有不少学生,但能被称为徒弟的天才一共就两个。 其中年纪比较小的那个,几个月前才发现一种制造物镜的新材料,造价比传统的材料略低一些,并能让物镜系统对温度不那么敏感,除此之外,对于精确度、反射率、减少发热、降低镜片打磨难度等等方面都没有太大好处,直接就被这位大佬称为鸡肋中的鸡肋。 --